电感耦合等离子体质谱高效离子导入接口的研制.doc

摘要:激光剥蚀固体(LA)与电感耦合等离子体技术(ICP)以及全量分析飞行质谱(TOF-MS)是今年来快速发展的高科技技术,在生物分析、地质矿物分析等领域有着重要的应用价值和广阔的潜在市场。该技术采用激光剥蚀固体靶材,结合ICP和TOF-MS技术,可以直接获得固体样本元素的分布信息，是高通量分析的首选工具。Solidworks软件（SW）功能非常完善强大，与其相关的插件和组件众多，再加上其容易学习便于使用的特点使其成为目前最为主流的三维CAD解决方案之一。Solidworks可以为工程师和设计者提供多种不同的设计方法，同时可以大大减少开发中的错误量，直接提高了设计产品的容易度和产品质量。

本文着重介绍了激光剥蚀固体(LA)、电感耦合等离子体技术(ICP)以及全量分析飞行质谱(TOF-MS)的相关背景原理和设计，深入了解电感耦合等离子体质谱的原理和发展。主要内容是学习Solidworks的设计开发过程，使用Solidworks设计LA池和ICP的相关产品模型。实现的方式是先学习了解各技术的原理和功能，掌握Solidworks软件的使用，最后结合SW软件和设计需求，设计LA、ICP和TOF-MS接口，再不断的进行修改完善，最后达到预期的设计效果。

关键词：激光剥蚀；电感耦合等离子体离化；Solidworks；飞行时间质谱； 合金分析

目录

摘要

Abstract

第1章 绪论-1

1.1 概述-1

1.2 研究背景-1

1.3 研究意义-2

1.4主要研究内容-2

第2章 技术分析-4

2.1 激光溅射(LA)-4

2.2 电感耦合等离子体(ICP)-4

2.3 SolidWorks软件-5

2.4 飞行时间质谱（TOF）-6

2.5 LA-ICP-MS技术特点和应用-7

2.5.1 LA-ICP-MS的技术特点-7

2.5.2 LA-ICP-MS 应用领域-7

第3章 设计实现-7

3.1 SolidWorks设计流程-7

3.2 LA池设计-11

3.3 ICP设计-13

第4章  总结-18

参考文献-19

致谢-20