激光精密刻划工艺设计及分析.doc

摘要:激光加工技术是一门拥有很强综合性的高科技技术，它交叉了光学、材料科学与工程、机械制造学、数控技术及电子技术等学科，是目前国内外科学界共同研究的热点。很多发达国家的先进工业企业由于广泛应用激光加工技术，其生产技术正发生质的变化。虽然目前我国企业已经意识到了激光技术发展的重要性,应用激光加工技术的速度也在不断加快，但与发达国家相比还有很大差距。因此，我们研究激光精密刻划工艺具有十分重要的意义。

本文是采用波长为355nm，脉冲宽度为25ns，重复频率为6868Hz的纳秒激光对1060铝板材料表面进行精密加工，我们通过改变激光工艺参数的方法，获得对材料表面精密加工的稳定控制。实验中通过控制激光电流、激光脉冲点的个数和激光雕刻速度等实验参数对材料表面进行微细线加工、微小点加工等，最后采用扫描电子显微镜对实验结果进行观察，研究对比不同参数下点结构和线结构之间的区别,分析实验参数对精密加工工艺的影响。

关键词  纳秒脉冲激光；铝板；点加工；线加工

目录

摘要

Abstract

1 绪论-1

1.1 激光加工技术-1

1.1.1 激光加工的概念-1

1.1.2 激光加工的特点-1

1.1. 3 激光加工技术的广泛应用-2

1.2 纳秒脉冲激光加工机理-3

1.3 纳秒脉冲激光加工的国内外研究现状-5

1.4 本课题研究的内容和意义-6

2 激光精密刻划实验系统-7

2.1 纳秒脉冲激光器-8

2.2 光路-10

2.3 振镜-10

2.4 扫描电子显微镜-11

3 激光精密刻划实验研究-12

3.1 实验方案-12

3.1.1 实验材料-12

3.1.2 激光线加工实验步骤-12

3.1.3 激光点加工实验步骤-14

3.2 实验结果分析-15

3.2.1 激光点加工实验分析-15

3.2.2 激光线加工实验分析-20

结论与展望-26

致谢-27

参考文献-28