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2022年03月13日 更新 “溅射论文”相关信息

磁控溅射制备氮化铜薄膜性能研究.rar

金属氮化物由于具有诸如电导性和热稳定性等诸多性质引起了人们的广泛注意。其中，典型化合物如BN、AlN、Si3N4、WN、TiN、NbN等，人们对其进行了广泛的研究。然而另一部分重要的低热...
分类：科学发展 - 字数：15713
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