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2022年03月14日 更新 “IEDF论文”相关信息

ICP放电中离子轰击的IEDF研究.docx

常见的ICP源有两种,一种是将线圈缠绕在等离子体反应室的柱面上,如图1.1(a)所示,第二种ICP源是采用把电感线圈放在反应室的上面,如图1.1(b)所示,称为平面线圈,其加速电子的...
分类:工业大学 - 字数:12350
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