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2022年03月14日 更新 “净室论文”相关信息

半导体洁净室的温湿度控制.docx

本课题主要研究了空调机组的温湿度控制流程，设计一套PLC控制系统来调节机组内部每个环节。由于温湿度需要解耦控制，所以通过各子系统之间的配合，可以达到控制温湿度的目的。...
分类：科技学院 - 字数：14897
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