基于相变存储器的相变存储材料的研究.doc

摘 要：相变存储器具的特点主要有非易失性、周期长、元件尺寸小等，它还有可以与已经出现的集成电路工艺相容的优势，正因为具有这些特点和优势，相变存储器才会被当作时最有潜力的下一代存储器。本文对相变存储器的工作原理进行了简单描述，同时还介绍了它的优点的表现，以及对其材料的运用和原理进行了综合阐述，除此之外，还介绍了相变存储器在国内外的现状以及未来的发展趋势。

关键词：相变存储，工作原理，性能要求，发展趋势，应用

目录

摘要

Abstract

1前言.4

2相变存储器.4

2.1相变存储器的工作原理.4

2.2相变存储器的优点.5

2.3相变存储器的缺点 5

3Ge-Sb-Te 相变存储材料.6

3.1GST 相变存储材料的简介6

3.2GST 相变存储材料的微观结构6

3.3GST 相变存储材料的相变机理7

3.4GST 相变存储器材料的性能9

3.4.1 GST 相变存储材料的电阻与温度关系.9

3.4.2 沉积温度对 GST 相变存储材料电学性质的影响9

3.4.3 溅射气压对 GST 相变存储材料的薄膜光学常数的影响10

3.5GST 相变存储材料的性能不足.10

3.6GTS 相变存储器材料的掺杂改性.10

4相变存储材料的未来发展及应用 .13

4.1相变存储材料的发展前景13

4.2相变存储材料的应用14

5结论15

参 考 文 献.16

致谢17