零次刻蚀菜单优化.docx

腐蚀速率就是基片表面的材料被另一种腐蚀剂（液体或者气体）在一定时间内腐蚀的量来衡量，这里的量一般就是该材料的厚度。腐蚀速率一定要适中，太高会刻蚀过多，以至于刻蚀掉...

分类：科技学院 - 字数：17264

全自动硅片刻蚀下料机控制系统设计.doc

本设计采用欧姆龙公司的CP1H系列PLC来作为控制系统。整个系统以PLC为控制中心，配有感应来片信号的光电传感器，控制气路的电磁阀，控制机械手运转的伺服电机以及步进电机等受PLC程...

分类：工业设计 - 字数：13876

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